Planspiegel werden z.B. in schnellen Strahlablenkungssystemen für die Lasermaterialbearbeitung oder in der Freistrahlkommunikation eingesetzt. Dabei spielt die Oberflächenqualität eine essenzielle Rolle, da Abweichungen von der Soll-Form zu ungewollten Strahlablenkungen und zum Verlust optischer Leistung führen.
Durch die wellenfrontbasierte Prüfung im Auflicht werden fehlerhafte Optiken erkannt. Zudem lassen sich anhand der Wellenfrontanalyse Trends im Fertigungsprozess erkennen und überwachen. Vorteile sind dabei die berührungslose Prüfung mit hoher intrinsischer Stabilität von 2nm RMS, sowie die schnelle Auswertung mit Wellenfront-Rekonstruktionsraten von 10Hz und mehr.
Neben Planspiegeln können auch sphärische und asphärische Spiegel gemessen werden.
Unsere Lösung für die Prüfung von Spiegeln
Das SHSInspect RL module misst die Oberflächenabweichung von Planspiegeln, sphärischen und asphärischen Spiegeln mit höchster Präzision. Durch Referenzierung können Genauigkeiten im Bereich lambda/20 PVr erreicht werden.
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