Präzise und effizient
Bei der Prüfung von Optiken auf Wafer-Level kommt es neben Präzision insbesondere auf Effizienz an, da in möglichst kurzer Zeit eine hohe Zahl an Optiken geprüft und dokumentiert werden muss. Aus Gründen der Wirtschaftlichkeit muss die Prüfung von Wafer-Level-Optik automatisiert erfolgen.
Wellenfrontmesstechnik wird hier beispielsweise eingesetzt, um die Abbildungsqualität einzelner Linsen zu prüfen, die später in Smartphone-Objektiven verbaut werden. Auch deren Werkzeuge und Master-Formen werden geprüft, z.B. durch eine Auflichtmessung der 3D-Oberflächenform. Ein weiteres Beispiel ist die Inspektion von Mikrolinsen mit Durchmessern bis zu 50 µm, bei der mit dem je nach Prüfaufbau entweder Abbildungsqualität und Oberflächenform oder Apexradius und konische Konstante gemessen werden können.Schnell und hochautomatisiert
Die Wellenfrontmessung basiert auf einem einzelnen Kamerabild und ist daher sehr schnell. Darüber hinaus zeichnet sie sich durch eine hohe intrinsische Stabilität aus.
Optocrafts Mess-Module sind eine leistungsfähige, vollautomatisierte Messlösung für die Fertigung in hohen Stückzahlen. Die flexiblen Kommunikations-Schnittstellen der mitgelieferten Shack-Hartmann Software SHSWorks erlauben eine einfache und schnelle Integration in eine Fertigungslinie, sowohl mechanisch wie auch software-seitig.
Unsere Lösung für die Prüfung von Wafer-Level-Optik
Die Systeme und Module der SHSInspect-Familie messen die transmittierte oder reflektierte Wellenfront und liefern damit Informationen über die Abbildungsqualität und Brennweite oder über die Oberflächenform und den Apexradius / konische Konstante der zu prüfenden Linsen. Durch die einzelbildbasierte Wellenfrontrekonstruktion bietet der Ansatz eine sehr hohe intrinische Stabilität und ist ideal für die Automatisierung geeignet.
SHSLab Wellenfrontsensoren ermöglichen eine präzise und schnelle Wellenfrontmessung in einem breiten Wellenlängenbereich.
